1. 이 사건 확인대상발명의 명칭
기판의 접합 방법

2. 도면의 간단한 설명
도 1은 이 사건 확인대상발명을 설명하기 위한 장치의 외관을 나타내는 것으로서, 전체적인 개략평면도,도 2는 도 1에 있어서 워크스테이지와 그 상부에 설치되는 제1 체임버 및 제2체임버가 서로 개방된 상태를 예시한 일부 생략 종단면도,도 3은 도 2에 있어서 제1 체임버의 상부에 제2 체임버를 덮어 서로 밀착 결합된 상태를 보여주기 위한 일부 생략 종단면도,도 4는 도 1의 개략평면도에 이 사건 확인대상발명의 각 공정을 함께 표기하여나타낸 개략평면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 워크스테이지,
2: 제1 체임버,
3: 제2 체임버,
4: 플라즈마 세정장치,
100: 접합용 기판,
200: 피접합용 기판

3. 이 사건 확인대상발명의 상세한 설명
이 사건 확인대상발명은 디스플레이용 기판의 제작시 접합용 기판의 표면에피접합용 기판을 접합하기 위한 기판의 접합 방법에 관한 것으로, 특히 디스플레이의 소자를 제작하는 과정에서 엘씨디 모듈(LCD Module)을 포함하는 접합용 기판의 표면에 터치패널을 포함하는 피접합용 기판을 접합하되 턴테이블 형태의 워크스테이지가 각도 회전이 이루어지면서 여러 공정이 순차적으로 이루어질 수 있도록 하여 생산성을 향상시킬 수 있도록 한 기판의 접합 방법에 관한것이다.
이 사건 확인대상발명은 그 목적이 각도 회전이 이루어지는 턴테이블 형태의워크스테이지 상에서 여러 공정이 순차적으로 동시에 이루어지도록 하여 전체적인 공정시간을 단축하면서 생산성을 향상시키고, 공간의 효과적인 활용이 가능하도록 하고자 함에 있다.
이 사건 확인대상발명은 이러한 목적을 달성하기 위하여, 워크스테이지(1) 상에 방사상으로 설치된 제1 체임버(2)로부터 제2 체임버(3)를 개방하고 제1 체임버(2)의 내측에 접합용 기판(100)을 위치시키고 제2 체임버(21)의 상부엔 피접합용 기판(200)을 위치시켜 접합용 기판(100) 및 피접합용 기판(200)을 로딩시키는 제1공정,
워크스테이지(1)를 각도회전시켜 다음 공정 스테이지에 이르면 플라즈마 세척장치(4)에 의하여 조사 처리되는 플라즈마에 의하여 접합용 기판(100)의 표면을세정하는 제2공정,
워크스테이지(1)를 각도회전시켜 다음 공정 스테이지에 이르면 제1 체임버(2)에위치한 접합용 기판(100)과 제 2체임버(3)에 위치한 피접합용 기판(200)을 접합작업시 서로 일치된 상태로 접합이 이루어지도록 카메라에 의하여 확인하면서서로 위치를 정렬하여, 얼라인시키는 제3공정,
워크스테이지(1)를 각도회전시켜 다음 공정 스테이지에 이르면 제2 체임버(3)를제1 체임버(2)의 상부에 덮어 밀착시켜 내부를 밀폐상태로 유지하게 되는 제4공정,
워크스테이지(1)를 각도회전시켜 다음 공정 스테이지에 이르면 제1 체임버(2)및 제2 체임버(3)의 밀착에 의하여 형성된 내부공간으로부터 공기를 배기시켜내부공간이 접합작업을 위한 소정의 진공상태를 유지하도록 작동시키는 제5공정,
워크스테이지(1)를 각도회전시켜 다음 공정 스테이지에 이르면 제1 체임버(2)및 제2 체임버(3)에 의한 내부공간이 진공배기 상태에서 접합용 기판(100)을 상승이동 및 가압시켜 피접합용 기판(200)과 접합용 기판(100)이 서로 접합이 이루어지도록 하는 제6공정,
워크스테이지(1)를 각도회전시켜 다음 공정 스테이지에 이르면 제1 체임버(2)및 제2 체임버(3)에 의한 내부공간에 외기를 충전하여 내부공간의 압력이 대기압에 이르도록 한 다음, 접합용 기판(100)과 피접합용 기판(200)을 서로 접합한 완성기판과 함께 원위치로 복귀시키는 제7공정,
그리고 워크스테이지(1)를 각도회전시켜 다음 공정 스테이지에 이르면 제1 체임버(2)로부터 제2 체임버(3)를 개방하고 제1 체임버(1)의 내부에 위치하고 있던완성패널을 꺼내어 언로딩하는 제8공정을 포함하고,이들 제1공정 내지 제8공정이 워크스테이지(1) 상에서 순차적으로 그리고 동시에 이루어지는 기판의 접합 방법이 제공된다.
이 사건 확인대상발명은 턴테이블 형태의 워크스테이지(1)가 각도 회전이 이루어지면서 제1공정 내지 제8공정이 순차적으로 이루어지면서 동시에 이들 공정이 이루어지게 되며, 또한 반복적으로 이루어지게 된다.
따라서 이 사건 확인대상발명에 의하면, 턴테이블 형태의 워크스테이지(1)가각도 회전이 이루어지면서, 워크스테이지(1) 상에서 접합용 기판(100)과 피접합용 기판(200)의 접합을 위한 여러 공정이 순차적으로 그리고 동시에 이루어지도록 하여 전체적인 공정시간을 단축하면서 생산성을 향상시키고, 접합용 기판(100)과 피접합용 기판(200)의 접합공정을 수행하기 위한 제1 체임버(2), 제2체임버(3)가 차지하게 되는 공간을 크게 줄여 공간의 효과적인 활용이 가능하게된다.